Ціль цирконію - це матеріал, що використовується у процесі фізичного осадження пари (PVD), який зазвичай використовується для виготовлення тонких плівок. Цирконій (хімічний символ ZR) - це перехідний метал з відмінною стійкістю до корозії, високою температурою плавлення та хорошими механічними властивостями. Цілі цирконію широко використовуються в напівпровідниках, оптичних покриттях, декоративних покриттях та функціональних плівках.
Точка плавлення: 1852 градус
Точка кипіння: 4400 градусів
Щільність: 6,5 г/см³
Технічні характеристики: плоска ціль/кругла ціль
Стандарт реалізації: ASTM B550 GB/T 8769-2010 GB/T 26314-2010
Основні області застосування
1. Виробництво напівпровідника: цілі цирконію використовуються для осадження висококваліфікованих діелектричних (високих К.), таких як оксид цирконію (Zro₂) для діелектричних шарів транзисторних воріт.
2. Оптичні покриття: цирконієві плівки мають високий показник заломлення та хороші оптичні властивості, і часто використовуються в антирефлекційних плівках або відбиваючих плівок для оптичних пристроїв та лінз.
3. Декоративне покриття: цілі цирконію можна використовувати для приготування стійких до зносу та стійких до корозії декоративних покриттів, таких як годинники, прикраси тощо
4. Функціональні тонкі плівки: тонкі плівки цирконію також можуть використовуватися при приготуванні паливних елементів, датчиків та каталізаторів.
Характеристика циклієвих цілей
Висока чистота: чистота цирконієвих цілей зазвичай необхідна для досягнення більш ніж 99,9%, щоб забезпечити виконання фільму.
Висока щільність: Ціль вимагає високої щільності, щоб зменшити генерацію частинок під час розпилення.
Хороша рівномірність: хімічний склад та мікроструктура цілі повинні бути рівномірними для забезпечення узгодженості плівки.
Процес підготовки
Підготовка цілей цирконію зазвичай включає такі кроки:
1. Транця: Підготуйте злиття цирконію з високою чистотою шляхом плавлення вакуумної дуги або плавлення електронного променя.
2. Кування та прокат: Поліпшення мікроструктури та механічних властивостей матеріалу за допомогою гарячої обробки.
3. Обробка: обробіть матеріал у форму та розмір, придатні для розпилювального обладнання.
4. Очищення та упаковка: Переконайтесь, що цільова поверхня чиста, щоб уникнути забруднення.
Популярні Мітки: Ціль цирконію з розпиленням покриття, китайське розпилення покриття цирконієвого цільового виробника, постачальники, фабрика
